據中科院結構力學研究室信息在中科院重特大科學研究武器裝備研發新項目的支助下，結構力學研究室我國微重力試驗室靳剛研究組取得成功研發出“光譜橢偏顯像系統軟件”以及產品化樣品。
該科學研究是運用高精度的電子光學橢偏測量術，另外融合光譜特性及數據顯像技術性，具備對繁雜二維遍布的納米層構薄膜試品的迅速光譜顯像定量分析測量工作能力。在中國科學院專家團對儀器設備特性和各類性能指標開展當場檢測的基本上，工程驗收專家團一致覺得：系統軟件為繁雜橫著構造的大規模雙層納米薄膜試品的迅速定性分析和物理性能剖析出示了合理方式，是一種納米薄膜三維構造定性分析的新方式
。
光譜橢偏顯像系統軟件的特性取決于：數據量大，可另外測量大規模試品上各微區的持續光譜橢偏主要參數，進而能夠
得到有關材料科學主要參數(如薄厚、電極化涵數、表層微表面粗糙度、復合材料中的成分占比等)以及空間布局;空間分辨率高，對納米薄膜的豎向辨別和可重復性均做到0.1nm、橫著辨別做到μm數量級;檢驗速度更快，單光波長下得到圖象視場內各微區(42萬清晰度之上)的橢偏參數(ψ和Δ)的取樣時間做到7秒，比機械掃描式光譜橢偏儀提升2~3個數量級;結果形象化，產生視場內比照測量，可精確精準定位和清除偽數據信號，它是單光線光譜橢偏儀所不具有的，而且系統軟件自動化技術水平高，實際操作簡單。
該系統軟件既可運用于單光線光譜橢偏儀所遮蓋的行業，也可運用于單光波長或公司分立光波長的橢偏成像儀所涉及到的行業，合適另外必須高室內空間辨別和光譜辨別測量的納米薄膜元器件測量的場所，這將為橢偏測量發展新的運用方位。現階段已取得成功運用于“863”新項目“對于惡性腫瘤標示譜無標識檢測蛋白質微陣列生物傳感器的研發”等科學研究工作上，并將在微/納生產制造、細胞外基質結構、新式電子元器件、生物芯片及密度高的儲存器件等行業中充分發揮關鍵功效。
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